ultraviolett ljus med extremt kort våglängd – något tiotal nanometer (miljondels millimeter). – Sådant ultraviolett ljus väntas bli användbart för tillverkning av kretsar med extremt små detaljer. Den form av ultraviolett ljus som används på 00-talet för kretstillverkning har en våglängd på runt 240 nanometer. Storleken på de minsta detaljer som kan tillverkas är i stort sett proportionell mot våglängden på det ljus som används. – Kallas också för extremt UV. – På engelska: extreme ultraviolet light – EUV.
[fysik] [ändrad 14 augusti 2021]