extremt ultraviolett ljus

(extreme ultraviolet light – euv) – ultraviolett ljus med extremt kort våglängd – något tiotal nanometer (miljondels millimeter). Sådant ultraviolett ljus väntas bli användbart för tillverkning av kretsar med extremt små detaljer. Den form av ultraviolett ljus som används på 00-talet för kretstillverkning har en våglängd på runt 240 nanometer. Storleken på de minsta detaljer som kan tillverkas är i stort sett proportionell mot våglängden på det ljus som används.