microelectronic mechanical system – mekanisk anordning i mikroskopisk skala, kombinerad med elektronik. Storleken mäts i mikrometer (tusendels millimeter), och MEMS‑teknik kan ses med vanliga optiska mikroskop. Sådana mekaniska miniatyrkomponenter blir alltmer användbara i elektroniska system i takt med att dessa också blir mindre. Rörliga MEMS‑speglar kan användas i kommunikation genom optiska fibrer. Ett annat användningsområde är tillverkning. – Teknik i mindre skala än MEMS kallas för nanoteknik. – Se också meso och cybug.
[elektronik] [förkortningar på M] [ändrad 16 januari 2018]